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雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)(含預熱器)批發(fā)

更新時間:  2019-05-19

產(chǎn)品型號:  CVD1200C-II-SL

產(chǎn)品報價:  

所  在  地:  合肥市新站區(qū)穎河路22號

產(chǎn)品特點:  雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)(含預熱器)批發(fā) 雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備

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產(chǎn)品概述

設備描述

CVD1200C-II-SL  200D50-5Z(含預熱器) 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由預熱爐、雙溫區(qū)滑軌爐、質子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備

技術參數(shù)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50

爐體結構

該設備采用雙層殼體并帶有風冷系統(tǒng),使其爐體表面溫度都小于55℃

·           爐底安裝一對滑軌,可手動滑動,以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。

爐管尺寸

Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)

功率

5kW

輸入電壓

220VAC 單相 50/60Hz

加熱元件

Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

高溫度

高溫度:1200℃ 

額定溫度:1100℃

升溫速率

 ≦10℃/min(推薦)

加熱區(qū)長度度

·         兩個加熱區(qū)的長度都是200mm

·         分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制

恒溫區(qū)長

·         100+100mm(±1℃)

·         可獲得較長恒溫區(qū)間

控溫精度

·          ±1℃

快速連接法蘭

·         Φ50快結式不銹鋼真空法蘭

·         打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
另配備有可調節(jié)高度的法蘭支架

 

 

預熱爐

功率

·         1kw

加熱區(qū)

·         100mm

高溫度

·         1200℃

工作溫度

·         200-800℃(可根據(jù)實際工藝需求調整)

 

 

五路質子流量控制系統(tǒng)

MFC-5Z

電壓

220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質

316不銹鋼

量程

50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

工作溫度

5~45℃

外型尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H) mm

電壓

AC220V/50Hz單相

功率

23W

 

 

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

·         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

大承載量

·         1000 Lbs 

抽氣速率

·         10m³/h

·         極限真空度:10-1Pa

·         雙層立式油污過濾器(PE材質)與真空泵連接

質保期

一年質保期,(相關耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件)

 

 

 

 

使用注意事項

·         爐管內氣壓不可高于0.02MPa

·        

·         當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

·         石英管的長時間使用溫度<1100℃

·         對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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