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品質(zhì)是生命,服務(wù)是宗旨

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CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

更新時間:  2024-04-29

產(chǎn)品型號:  

產(chǎn)品報價:  

所  在  地:  合肥市新站區(qū)穎河路22號

產(chǎn)品特點:  化學(xué)氣相沉積設(shè)備描述:CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜Z大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個7“的觸摸屏上,同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。

(聯(lián)系我時,請說明是在化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝?。?/div>
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產(chǎn)品概述

CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

名稱

雙通道

三通道

四通道

五通道

CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)質(zhì)量流量控制器

工作溫度:5~45ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S

重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度:5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S
重復(fù)精度:±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度:5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S.
重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制

輸入電源

        AC 220V/50Hz單相

功率

        23W

PLC觸摸屏

·  CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上 

· RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上,進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

  

機(jī)械壓力表

·  有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

·   量程:-0.1~0.15 MPa 

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

·  內(nèi)部連接管道為Φ不銹鋼管 

·  外部通氣管道為Φ聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

·316不銹鋼針閥 

 Φ6mm 不銹鋼管

外形尺寸

 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)

 

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